真空镀膜机组成结构是怎样的?真空镀膜机是现在产品在真空条件下进行镀膜使用最多的一种设备,一台完整的真空镀膜机是由多部分系统组成的,每个系统可以完成不同的功能,从而实现最终的高品质镀膜,其组成包括真空腔、机械泵、真空测试系统、油扩散泵、抽真空系统、冷凝泵以及成膜控制系统等等。

真空镀膜机的主体是真空腔,真空腔大小是由加工产品所决定,它的大小能定制,腔体一般是用不锈钢材料制作,要求结实耐用不生锈等。真空腔有许多连接阀用来连接各种辅助泵。

抽真空系统采用机械泵+扩散泵+罗茨泵组成,抽真空系统是镀膜机真空系统的一个重要组成部分,真空度的高低直接影响产品的镀膜效果,真空度由真空测试系统取得数据。

成膜控制系统能采用不同方式,比如固定镀制时间、目测、极致监控以及水晶震荡监控等。镀膜方式也分多种工艺,常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。磁控溅射方式镀制的膜层附着力强,膜层的纯度高,可以同事溅射多种不同成分的材料,离子蒸发镀膜可以提高膜层的致密性和结合力及均匀性。

真空镀膜机镀膜原理一般是根据实际产品工艺需求定制,造价基本上是在几十万到上千万,采用人工操作方式的机器设备相对较便宜,一般在百万左右,技术含量高能实现完全自动化机器设备造价高几倍,国内较知名的企业单位能实现完全自动化的机器设备造价会高几倍,国内知名企业能达到半自动化作业,少数技术较强的能实现完全自动化。

http://www.zkpvd.com 真空镀膜设备


2018年03月16日

真空镀膜机组成结构是怎样的?

添加时间:

新闻中心

 NEWS


浏览次数:

170