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多弧离子真空镀膜机

多弧离子真空镀膜机

产品型号:LLZ-

产品分类:大型多弧离子真空镀膜机


  • 产品详情
  • 产品属性

型号

LZ-1500

LZ-1800

LZ-2000

LZ-2200

LZ-2300

LZ-4200

LZ-3200

真空室尺寸

 

Ф1500×H

3500mm

Ф1800×H

3500mm

Ф2000×H

4000mm

Ф2200×H

4500mm

Ф2300×H

3500mm

Ф2300×H

4200mm

Ф3200×H

2100mm

电源类型

脉冲偏压电源弧电源(可根据客户要求加配不同电源)

真空室结构

立式 / 卧式结构、后置抽气系统

真空室材质

SS304优质不锈钢材质腔体

极限真空

6.7×10-3Pa

6.7×10-3Pa

6.7×10-3Pa

6.7×10-3Pa

6.7×10-3Pa

6.7×10-3Pa

6.7×10-3Pa

抽气时间

从大气抽至6.7×10-3Pa用时815分钟(空载洁净

真空获得系统

扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵(具体型号可根据客户的要求进行配置)

多弧靶数量

24

26

30

36

30

40

30

加热系统

60KW

60KW

75KW

80KW

80KW

80KW

60KW

偏压电源

10KW

10KW

12KW

12KW

20KW

20KW

20KW

旋转系统

6~8

3040

三张板  

 2440

三张板

工艺气体 

质量流量控制仪(3-4),手动或自动加气系统

冷却方式 

水循环冷却方式,另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统客户提供

控制方式

手动PLC+触摸屏操作

报警及保护

水压报警,气压报警,过流保护,执行相应保护措施及电气联锁功能

设备占地面积 

W3

L3.5m

W3.5

L5m

W3.5

L5m

W4.5

L5.5m

W4.5m×

L11m

W5m×

L12m

其他技术参数 

水压≥0.2MPa水温≤25℃气压0.5-0.8MPa

备注

具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计。另可加配直流磁控电源和中频电源满足不同镀膜工艺要求。可定制的真空室尺寸范围Ф500-3500mm,高度500-7000mm