产品中心

 Product



产品>  

磁控溅射真空镀膜机

磁控溅射真空镀膜机

产品型号: CK-

产品分类: 磁控溅射真空镀膜机


  • 产品详情
  • 产品属性

真空磁控溅射镀膜机广泛应用于家电器、钟表、灯具、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、磁砖等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。本公司的磁控溅射镀膜有几大优势如膜厚可控性和重复性好薄膜与基片的附着力强制备特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同时溅射制备混合膜化合膜,TiN仿金膜;膜层纯度高 

型号 

CK-700

CK-900

CK-1000

CK-1250

CK-1400

CK-1600

真空室尺寸

Ф700×H

900mm

Ф900×H

1100mm

Ф1000×H

1200mm

Ф1250×H

1350mm

Ф1400×H

1600mm

Ф1600×H

1800mm

电源类型

脉冲偏压电源、直流磁控电源

真空室结构

立式双开门、立式前开门结构、后置抽气系统

真空室材质

SS304优质不锈钢材质腔体

极限真空

8.0×10-4Pa

8.0×10-4Pa

8.0×10-4Pa

8.0×10-4Pa

8.0×10-4Pa

8.0×10-4Pa

抽气时间

从大气抽至6.7×10-3Pa用时815分钟(空载洁净

真空获得系统

扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵(具体型号可根据客户的要求进行配置)

磁控靶类型

平面磁控靶圆柱形磁控靶

偏压电源功率

25KW

25KW

30KW

30KW

40KW

40KW

转架转动方式

行星式公自转、变频调速(可控可调,可设定上下转架,轴数可由实际情况而定)

工艺气体 

质量流量控制仪(3-4),手动或自动加气系统

冷却方式 

水循环冷却方式,另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统客户提供

控制方式

手动PLC+触摸屏操作

报警及保护

水压报警,气压报警,过流保护,执行相应保护措施及电气联锁功能。

设备占地面积 

W3

L3.5m

W3

L3.5m

W3.5

L5m

W3.5

L5m

W4.5

L5.5m

W4.5

L5.5m

其他技术参数 

水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa

备注

具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计另可加配中频电源和弧电源满足不同镀膜工艺要求。可定制的真空室尺寸范围 Ф 500-3000mm,高度500-3000mm